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Diffractomètre couche mince PANalytical Empyrean

Publié le 13 novembre 2018



Détermination des structure, orientation et microstructure (contraintes, tailles de grains...) de couches minces polycristallines, texturées ou épitaxiées.

Mesure d'échantillons polycristallins rugueux (géométrie faisceau parallèle).

Mesures de réflectivité sur couches minces pour des épaisseurs allant de quelques nm à la centaine de nm.

• source
: tube 1,8 kW foyer type "Long Fine Focus" avec anode Co (intéressant notamment pour les échantillons contenant du fer)
• goniomètre vertical
θ/θ de rayon 240 mm
• optique amont :
miroir parabolique ou bien
bloc fente de divergence/fente d'anti-diffusion
• optique aval et détection :
Détecteur Pixcel 0,1,2D avec fente d'anti-diffusion ou bien
collimateur long (0,09 0,18 ou 0,27 deg) et détecteur proportionnel (fente 0,1mm pour réflectivité - possibilité de rajouter un monochromateur graphite)
• Platine échantillon chi, phi, z motorisés + berceaux RX/RY avec pilotage externe

Programmes de traitement/analyse des données
• Base de données ICDD
• Highscore Plus (identification de phase - détermination des paramètres de maille, de la taille de cristallites - affinement Rietveld)
• XPert Epitaxy (analyse de données de diffraction sur couches minces monocristallines - visualisation de cartographies de l'espace réciproque).
• Routines "maison" de détermination de maille à partir de la matrice d'orientation (sous Igor Pro)
• Motofit (analyse de données de réflectivité)

Contact
Stéphanie Pouget.