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Khalil El Hajraoui

Études in situ dans un microscope électronique en transmission des réactions à l’état solide entre métal et nanofil de Ge

Publié le 17 mars 2017
Thèse soutenue le 17 mars 2017 pour obtenir le grade de doctorat de la Communauté Université Grenoble Alpes - Spécialité : Physique

Résumé :
Le domaine des nanofils semi-conducteurs est en pleine expansion depuis ces dix dernières années grâce à leurs applications dans de nombreux domaines tels que l’électronique ou la conversion d’énergie. Dans cette étude on part d’une base de nanofil de germanium (le canal), on dépose des contacts métalliques qui seront chauffés par effet joule. Une différence de potentiel est alors appliquée au contact d’entrée (la source), le courant électrique est récupéré et mesuré par le contact de sortie (le drain). Une réaction à l’état solide permet aux atomes du métal de diffuser dans le nanofil. La propagation d'une phase métal/semi-conducteur est suivie dans un microscope électronique en transmission (MET) dont la résolution permet une observation à l’échelle atomique au niveau de la source, le drain et le canal. Les dispositifs caractérisés au cours de ce stage ont été élaborés à partir de deux types de membranes, l’une plane et l’autre avec des trous. Chacune d’entre elles sont constituées d’une couche de nitrate de silicium Si3N4 à leurs surfaces présentant l’avantage d’être transparents aux électrons et isolants au courant.

Jury :
Président : Monsieur Joël Cibert
Rapporteur : Monsieur Antonius T. J. van Helvoort
Rapporteur : Monsieur Thierry Epicier
Examinateur : Monsieur Martial Duchamp
Sous la direction de Jean-Luc Rouvière 

Mots clés :
Nanofils, Microscopie électronique en transmission, Microscope électronique à balayage, Lithographie

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