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Diffractomètre couche mince

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Publié le 11 août 2023
Détermination des structure, orientation et microstructure (contraintes, tailles de grains...) de couches minces polycristallines, texturées ou épi​taxiées.

Mesure d'échantillons polycristallins rugueux (géométrie faisceau parallèle).

Mesures de réflectivité sur couches minces pour des épaisseurs allant de quelques nm à la centaine de nm.

• source : tube 1,8 kW foyer type "Long Fine Focus" avec anode Co (intéressant notamment pour les échantillons contenant du fer)
• goniomètre vertical θ/θ de rayon 240 mm
• optique amont :
miroir parabolique ou bien
bloc fente de divergence/fente d'anti-diffusion
• optique aval et détection :
Détecteur Pixcel 0,1,2D avec fente d'anti-diffusion ou bien
collimateur long (0,09 0,18 ou 0,27 deg) et détecteur proportionnel (fente 0,1mm pour réflectivité - possibilité de rajouter un monochromateur graphite)
• Platine échantillon chi, phi, z motorisés + berceaux RX/RY avec pilotage externe

Programmes de traitement/analyse des données
• Base de données ICDD
• Highscore Plus (identification de phase - détermination des paramètres de maille, de la taille de cristallites - affinement Rietveld)
• XPert Epitaxy (analyse de données de diffraction sur couches minces monocristallines - visualisation de cartographies de l'espace réciproque).
• Routines "maison" de détermination de maille à partir de la matrice d'orientation (sous Igor Pro)
• Motofit (analyse de données de réflectivité)

Contacts 
Stéphanie Pouget et Sandrine Schlutig