Thèse soutenue le 04 octobre 2011 pour obtenir le grade de docteur de l'Université de Grenoble - Spécialité : Physique de Matière Condensée et Rayonnement
Résumé : L'imagerie par diffraction des rayons X cohérents (CDI) en condition de Bragg est utilisée pour étudier la déformation de nano-objets uniques. Ceci est possible grâce au développement d'optique focalisante, comme les lentilles de Fresnel (FZP), produisant un faisceau sub-micronique cohérent. Les nanostructure étudiés sont reconstruites avec des algorithmes d'inversion à partir de données de diffraction, sous la forme d'un objet complexe, où l'amplitude correspond à la densité électronique 3D et la phase correspond à la projection de la déformation de l'objet (par rapport à un réseau cristallin parfait) dans la direction du vecteur de diffraction. Dans ce travail, nous avons étudié la déformation dans des nanofils hétérognes (nanofil de GaAs avec une mono-couche de boîtes quantiques de InAs) et homogènes (silicium fortement contraint sur isolant (sSOI)). Lorsqu'un faisceau focalisé de rayons X est utilisé, à la fois l'amplitude et la phase de l'onde incidente doivent être connues pour une étude quantitative. Le faisceau focalisé utilisé pendant les expériences a été recontruit avec la technique CDI, et les effets de cette fonction d'illumination sur l'imagerie de nanofils contraints ont été étudiés.
Jury : Président : Sylvain Ravy
Rapporteur : Cinzia Giannini
Rapporteur : Olivier Thomas
Invité : Till H. Metzger
Directeur de thèse : Joël Eymery
Co-Directeur de thèse : Vincent Favre-Nicolin
Co-Directrice de thèse : Dina Carbone
Mots clés : Synchrotron, Diffraction cohérente, Nanofils uniques, Contrainte
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